本實用新型公開了一種ITO靶材廢料制粉系統(tǒng)。本實用新型ITO靶材廢料制粉系統(tǒng)包括環(huán)錘粉碎機、對輥破碎機、球磨篩分機和接料裝置，其中，環(huán)錘破碎機包括第一破碎腔室、旋轉(zhuǎn)錘輪、用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)錘輪旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置和位于旋轉(zhuǎn)錘輪下方的第一篩網(wǎng)，旋轉(zhuǎn)錘輪和第一篩網(wǎng)均設(shè)于第一破碎腔室內(nèi)部，環(huán)錘粉碎機的出料口位于第一篩網(wǎng)下方并與對輥破碎機、球磨篩分機、接料裝置依次連通；對輥破碎機包括第二破碎腔室、對輥組和用于驅(qū)動對輥組旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置，對輥組設(shè)于第二破碎腔室內(nèi)部；球磨篩分機包括球磨腔體和第二篩網(wǎng)，第二篩網(wǎng)用于自動篩分球磨后的物料至所述接料裝置內(nèi)，具有工作效率高、自動化程度高、原料適用范圍廣、所得ITO粉末收率和純度高等優(yōu)點。