本發(fā)明涉及物理冶金級(jí)硅太陽能電池制造過程中的擴(kuò)散工藝，尤其是一種能提升冶金級(jí)硅片少子壽命的擴(kuò)散工藝。其特點(diǎn)是，包括如下步驟：（1）低溫進(jìn)舟、初步升溫；（2）通源擴(kuò)散；（3）恒溫推進(jìn)；（4）降溫、退舟。本發(fā)明的有益效果是：1.采用噴淋式擴(kuò)散可節(jié)省磷源，同時(shí)提高擴(kuò)散結(jié)深的均勻性，并且適合做高方阻；2.針對(duì)物理冶金硅的特性，采用雙面磷吸雜，增強(qiáng)吸雜效果，提升硅片少子壽命；3.通過溫度與時(shí)間的協(xié)調(diào)，有效改善擴(kuò)散工藝；4.控制通氧與通源量的比例，減少由于直接擴(kuò)散引起的缺陷，改善PN結(jié)結(jié)深，也可改善表面鈍化效果，提高短路電流與開路電壓，進(jìn)而提升冶金硅太陽能電池轉(zhuǎn)換效率及成品率。