一種冶金法N型多晶硅片磷吸雜方法,涉及一種多晶硅。提供一種吸雜效果較好、成本較低、操作簡單,適合工業(yè)化生產(chǎn)的冶金法N型多晶硅片磷吸雜方法。將冶金法N型多晶硅片清洗,烘干;將得到的硅片在700～1200℃的溫度下通入氣體進行磷擴散吸雜熱處理,然后冷卻硅片;將得到的硅片浸泡在HF溶液中;將硅片用酸腐蝕液腐蝕吸雜層,清洗后吹干,烘烤,得磷吸雜后的多晶硅片。