本發(fā)明提供了一種物理冶金多晶硅太陽(yáng)能電池的磷擴(kuò)散方法，包括，1)將清洗制絨后的硅片進(jìn)行第一恒溫?zé)崽幚恚?)將經(jīng)步驟1)處理后的硅片進(jìn)行第二恒溫?zé)崽幚恚?)將經(jīng)步驟2)處理后的硅片進(jìn)行氧化處理；4)向步驟3)處理后的硅片通磷源進(jìn)行磷擴(kuò)散處理；5)將經(jīng)步驟4)處理后的硅片進(jìn)行退火處理。本發(fā)明的擴(kuò)散方法應(yīng)用于物理冶金硅太陽(yáng)電池制備中，可節(jié)約成本，提高產(chǎn)能，所形成的PN結(jié)，表面雜質(zhì)濃度低，雜質(zhì)分布均勻，擴(kuò)散均勻性好，減小了死層效應(yīng)，有利于電子的收集，降低了太陽(yáng)能電池因復(fù)合造成的效率損失，從而提高了電池片的最終光電轉(zhuǎn)換效率。