本發(fā)明涉及一種處理物理冶金法單晶硅返工片的方法。其特點是，包括如下步驟：（1）在1#預清洗槽內(nèi)加入雙氧水溶液并且浸沒過返工片，溶液中雙氧水質(zhì)量濃度為4%—6%，同時配合超聲清洗返工片，控制超聲功率及頻率范圍：1.8kW，頻率20—40kHz，時間300s—550s；（2）在2#預清洗槽內(nèi)加入純水并且浸沒過返工片，控制溫度為55℃—65℃，同時配合超聲對返工片進行漂洗，控制超聲功率及頻率范圍：1.8kW，頻率20—40kHz，時間250s—300s。經(jīng)過試用證明，采用本發(fā)明的方法后，返工硅片表面油污、白斑、手印等臟污經(jīng)過清洗后完全洗凈，降低硅片的報廢比例30%以上。