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50A大電流快恢復(fù)二極管的制作方法

930   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:45:02
本發(fā)明公開(kāi)了一種50A大電流快恢復(fù)二極管的制作方法,包括:提供N型半導(dǎo)體硅材料作為半導(dǎo)體襯底;在N型半導(dǎo)體襯底上摻雜N+型雜質(zhì);去除半導(dǎo)體襯底一面的N+型雜質(zhì)層;在暴露出的N-型半導(dǎo)體材料上再雙雜質(zhì)摻雜P+型雜質(zhì);再采用高溫?cái)U(kuò)散的方法進(jìn)行重金屬鉑摻雜;進(jìn)行第一次掩膜光刻;在鈍化槽中刮涂玻璃粉,高溫?zé)Y(jié)成型,完成PN結(jié)玻璃鈍化;采用真空濺射法,在硅片兩面制作多層金屬化層;進(jìn)行第二次掩膜光刻;將硅片分割成獨(dú)立的管芯;將芯片與引線組件冶金鍵合在一起;采用燒結(jié)的方法將芯片、引線組件與管座冶金鍵合在一起;采用儲(chǔ)能焊,將管帽與底座封焊成型。本發(fā)明受環(huán)境影響小,工藝成熟、穩(wěn)定、重復(fù)性好,可廣泛用于大電流恢復(fù)二極管的大批量生產(chǎn)。
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