本發(fā)明一種多晶硅熔煉的復(fù)合式加熱方法及裝置屬于用物理冶金技術(shù)提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種利用感應(yīng)線圈和石墨加熱器復(fù)合加熱的方式熔煉多晶硅的方法及裝置。本方法同時(shí)采用感應(yīng)加熱和輻射加熱兩種方式對加熱區(qū)進(jìn)行復(fù)合式加熱,使硅料熔化并進(jìn)行熔煉,通過拉錠裝置的運(yùn)動(dòng)使熔體脫離加熱區(qū),實(shí)現(xiàn)定向凝固。該裝置由真空蓋、真空圓桶構(gòu)成裝置的外殼,真空圓桶的內(nèi)腔即為真空室,真空室內(nèi)裝有進(jìn)行感應(yīng)加熱的感應(yīng)線圈和進(jìn)行輻射加熱的石墨加熱器。本發(fā)明有效地利用了感應(yīng)加熱的高效性和輻射加熱的穩(wěn)定性,保證了熔煉過程的穩(wěn)定,減小了能耗,提高了加熱效率,且該方法簡單易行,適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。