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濺射靶材

784   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:07
本發(fā)明是由貴金屬構(gòu)成的濺射靶材,其特征在于,具有相對于濺射面沿法線方向生長的柱狀結(jié)晶組織,本發(fā)明解決了具有該特征的濺射靶材的問題。本發(fā)明不產(chǎn)生由熔解鑄造法或粉末冶金法得到的濺射靶材產(chǎn)生的微小成堆塊狀體脫落的問題,是能夠得到良好薄膜特性、同時(shí)內(nèi)部缺陷極少的高純度濺射用貴金屬靶材。
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“濺射靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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