本發(fā)明公開了一種加熱用基板、加熱板、濕化器及其加工方法，包括基板本體，在所述基板本體表面設(shè)有一層經(jīng)表面陶瓷化處理得到的氧化物陶瓷層。本發(fā)明的加熱用基板采用微弧氧化工藝在基板上原位生成一層氧化鋁陶瓷層，該陶瓷層與鋁基板之間達(dá)到冶金結(jié)合，附著力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于采用厚膜工藝制成的介質(zhì)導(dǎo)熱膜層與鋁基板之間的附著力，耐冷熱沖擊性能極佳；另外，氧化陶瓷層的熱導(dǎo)率高，基板與氧化物陶瓷層界面間的熱損失小，降低了溫度梯度，極大提高了加熱板的加熱效率和溫度控制響應(yīng)的速度。