一種太陽能電池用鍺襯底片加工廢液處理工藝,屬于濕法冶金技術領域,尤其是一種太陽能電池用鍺襯底片加工中產(chǎn)生的廢液處理工藝。本發(fā)明的太陽能電池用鍺襯底片加工廢液處理工藝,包括將廢液中的鍺、碳化硅、C10潤滑油分離工序和對分離出的鍺、碳化硅、C10潤滑油的提取純化工藝。通過本發(fā)明的工藝回收的鍺、碳化硅、C10潤滑油達到使用的標準,對于節(jié)約生產(chǎn)成本、循環(huán)經(jīng)濟、保護環(huán)境、增加公司效益等方面產(chǎn)生積極的效益。