Zr元素?fù)诫sAZO靶材, 采用粉末冶金法工藝方法，將原料粉ZrO2粉與AZO粉混合，使摻雜的ZrO2含量為0.5％，然后對(duì)原料粉體進(jìn)行球磨處理，得到粒度細(xì)而均勻的類(lèi)球形顆粒；將處理過(guò)的粉末進(jìn)行裝模；裝模后進(jìn)行冷等靜壓，壓力范圍100MPa～200MPa，而后進(jìn)行燒制，燒制溫度范圍為1200℃～1500℃；目的是優(yōu)化晶體結(jié)構(gòu)和表面形貌，增強(qiáng)AZO薄膜的光電特性，提高薄膜的穩(wěn)定性。從而完善薄膜性能、降低反應(yīng)溫度、提高控制精度、降低制備成本和適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)。