本發(fā)明公開了一種細(xì)晶粒平面鉬靶材的生產(chǎn)方法，該方法為：一、采用粉末冶金燒結(jié)制備鉬板坯；二、對(duì)鉬板坯進(jìn)行8道次以上軋制，得到鉬板材，每道次軋制的加熱溫度為850℃～1000℃；三、對(duì)鉬板材進(jìn)行熱處理，隨爐冷卻后得到晶粒尺寸不大于100μm，平均晶粒尺寸為40μm～80μm的細(xì)晶粒鉬靶材。本發(fā)明的方法簡(jiǎn)單高效，設(shè)備來源廣泛，對(duì)環(huán)境無污染，性能可靠，可批量化生產(chǎn)，生產(chǎn)的產(chǎn)品性能穩(wěn)定可靠，節(jié)能高效，可滿足各種規(guī)格和單重板材的生產(chǎn)。采用本發(fā)明的方法生產(chǎn)的平面鉬靶材晶粒組織均勻、細(xì)小，平均晶粒尺寸為40μm～80μm，最大晶粒尺寸不大于100μm。