本發(fā)明提供一種熱壓法制備高純微觀組織可控的鉬鈮合金靶材方法，通過熱壓方法制備高致密的鉬鈮合金濺射靶材，致密度可達(dá)到99％以上，采用氮化硼和石墨的組合模具可以有效阻止?jié)B碳現(xiàn)象，獲得高致密高純的微觀組織可控的鉬鈮合金靶材，降低了燒結(jié)溫度，降低成本。同時(shí)，克服了粉末冶金工藝致密度低的現(xiàn)象，熔煉鑄造的組織粗大、成分不均勻，熱等靜壓成本過高的缺點(diǎn)。