本發(fā)明涉及一種晶圓廢料回收金的方法，屬于濕法冶金技術(shù)領(lǐng)域。包括晶圓廢料硫酸熱處理，采用壓力反應(yīng)釜浸出，浸出時(shí)添加亞硝酸鈉、氯化鈉及硫酸；壓力反應(yīng)釜壓力1?2Mpa，溫度50?90℃，時(shí)間2?4h；浸出液采用直接還原工藝回收金，或采用萃取工藝回收金，或采用電解工藝回收金。本發(fā)明的有益效果是：方法流程完全為濕法流程，不產(chǎn)生廢氣、廢水，環(huán)境友好。實(shí)現(xiàn)了晶圓廢料中貴金屬資源高效的回收，生產(chǎn)成本較低，具有較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。