本發(fā)明公開了一種銅制齒輪淬火感應(yīng)傳感器陶瓷鍍層，以薄膜熱膨脹系數(shù)遞減為順序，依次沉積Cu?Ti?Zr薄膜、Ti?Zr薄膜與(Ti,Zr)N+(Zr,Ti)N薄膜，形成納米結(jié)構(gòu)多層膜材料作為鍍層，所述薄膜厚度為2.5μm?10μm。同時(shí)公開了該多層膜結(jié)構(gòu)鍍層的制備方法。本發(fā)明解決目前工業(yè)應(yīng)用過程中傳感器和對(duì)向工件之間因碰撞而發(fā)生的打火問題，改善傳感器表面耐磨性與絕緣性，提升淬火效率；利用多靶共聚焦非平衡磁控濺射技術(shù)，以熱膨脹系數(shù)遞減與層間冶金結(jié)合為原則設(shè)計(jì)涂層，提升膜基結(jié)合力，更具應(yīng)用價(jià)值。