本發(fā)明涉及一種金屬材料分析前處理機，同時涉及相應的處理方法，屬于冶金檢測磨削設備技術領域。該機包括具有抽氣接口和密封門的立筒狀真空室；真空室的底面中部朝上延伸出接高壓電源的陰極筒，陰極筒的頂部為待處理試樣安放區(qū)域的陰極頭，安放區(qū)域周圍延伸出罩住陰極頭和陰極筒的屏蔽裝置，陰極頭內部具有外接冷卻流體源的冷卻通道；真空室的頂端中部裝有接地的陽極座，陽極座朝下延伸出與陰極頭相對的陽極頭，陽極頭中具有惰性氣體進氣管，進氣管的出氣口對著陰極頭的試樣安放區(qū)域。采用本發(fā)明后，可以避免二次氧化，不僅效果佳，而且速度快，可以更好滿足快速分析的需求，從而得到更為精準的檢測結果。