本發(fā)明公開了一種超細(xì)/納米晶梯度涂層的制備方法，首先利用電子束對基體材料表面進(jìn)行改性，形成改性層；對改性層表面利用物理氣相沉積技術(shù)制備打底過度涂層，打底過度涂層的硬度大于改性層；對打底過度涂層利用物理氣相沉積技術(shù)制備得到高硬度涂層，高硬度涂層的硬度大于打底過度涂層；利用電子束改性技術(shù)對產(chǎn)品表面再進(jìn)行照射，促進(jìn)涂層間元素?cái)U(kuò)散，使打底過度涂層與改性層以及打底過度涂層與高硬度涂層間的機(jī)械結(jié)合轉(zhuǎn)化為冶金結(jié)合。本發(fā)明能夠優(yōu)化零件的表面硬度梯度分布并提高零件表面硬度，能提高金屬零件的耐磨性，涂層硬度分布合理、結(jié)合力強(qiáng)、表面應(yīng)力狀況優(yōu)良。