本文公開了使用微波等離子體加工來加工原料材料的方法、裝置和組件的實施方案。具體地，本文公開的原料材料屬于獨特的粉末原料，比如鉭、釔穩(wěn)定的氧化鋯、鋁、水霧化合金、錸、鎢和鉬。微波等離子體加工可以用于球化和去除污染物。有利地，微波等離子體加工的原料可以用于需要高粉末流動性的各種應(yīng)用中，比如增材制造或粉末冶金(PM)應(yīng)用。