本實用新型涉及一種用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其包括化學(xué)處理槽和化學(xué)品供應(yīng)罐，所述化學(xué)處理槽和所述化學(xué)品供應(yīng)罐通過管道連接，所述化學(xué)處理槽包括內(nèi)槽和外槽，所述化學(xué)處理槽底部設(shè)置有加熱器，所述化學(xué)處理槽側(cè)面底部圍繞有導(dǎo)管，所述導(dǎo)管與冷卻水供應(yīng)罐連接。通過在常規(guī)制絨裝置之前增加預(yù)處理裝置，對于雜質(zhì)含量高，表面狀況復(fù)雜的冶金級硅片，獲得的絨面效果均勻，清晰。同時，通過在化學(xué)處理內(nèi)槽上連接一外槽，使得化學(xué)處理內(nèi)槽中的腐蝕液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，通過循環(huán)管路使外槽中的溢出液體回到內(nèi)槽中，由此提高了腐蝕液的利用率，減小了腐蝕液的浪費。