本實用新型提供一種氮化硅生產(chǎn)用真空燒結(jié)爐，包括爐體，爐體的一側(cè)密封鉸接有爐門，爐體的一側(cè)設有第一抽氣管，第一抽氣管的內(nèi)部設有密封蓋，第一抽氣管上設有第二抽氣管，第二抽氣管的另一端連有抽氣泵，爐體的頂部一側(cè)設有氮氣罐，氮氣罐上連有氮氣輸送管，氮氣輸送管的另一端轉(zhuǎn)動連接有第三管道，第三管道的另一端伸入到爐體的內(nèi)部并與氮氣布氣管連通，氮氣布氣管的下側(cè)設有多個布氣支管，布氣支管上設有若干出氣口，爐體的頂部另一側(cè)設有出氣管，出氣管上設有排氣閥，出氣管的另一端伸入到爐體頂部設有的水箱中，水箱的內(nèi)部設有第一管道，第一管道的一端與出氣管相連，第一管道的另一端連有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部。