本發(fā)明公開了一種減小大尺寸反應(yīng)燒結(jié)碳化硅內(nèi)應(yīng)力的燒結(jié)工藝，包括如下步驟：提供一真空燒結(jié)爐，真空燒結(jié)爐設(shè)有多組加熱器，待燒結(jié)的坯體置于多組加熱器中間；用碳化硅粉通過凝膠注模工藝并脫脂制成碳化硅素坯；將一定質(zhì)量的硅放到碳化硅素坯試樣上，然后一起放入真空燒結(jié)爐中按照設(shè)定的程序進(jìn)行燒結(jié)，本發(fā)明通過控制硅的凝固方向，減小反應(yīng)燒結(jié)碳化硅坯體內(nèi)因硅的凝固膨脹而產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力。該工藝可以使硅凝固時(shí)的體積膨脹不會(huì)集中到坯體某一部分，而且體積膨脹有釋放的通道，即硅的凝固膨脹不受約束，消除其在坯體內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力。