本發(fā)明公開了一種節(jié)流及微流量精確控制用金屬多孔材料芯體的制備方法,該方法為:將粒度為-80~-500目范圍內(nèi)的金屬粉末直接放入致密管中模壓成型,成型壓力為2.5~5.0MPA,然后采用加壓燒結(jié)方法,壓力為2~15KPA,于600~1300℃溫度下真空燒結(jié),獲得孔隙度為10-40%的金屬多孔材料微流量控制芯體,其內(nèi)芯為多孔材料,外殼為致密材料。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單,制備的多孔材料的孔隙度隨著原始粉末的粒度、壓制壓力和燒結(jié)溫度的變化而不同,從而可以調(diào)節(jié)微流量控制器流量的變化,達(dá)到不同的節(jié)流效果;當(dāng)測(cè)試壓力為0.18~0.2MPA時(shí),氣體流量在1.0~800SCCM范圍內(nèi)可調(diào),提高了節(jié)流器的使用壽命和可靠性。
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“節(jié)流及微流量精確控制用金屬多孔材料芯體的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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