本發(fā)明提供了一種直接水冷的粉末燒結(jié)多元合金鍍膜靶及其制造方法,所要解決的問(wèn)題是:粉末燒結(jié)的靶材其內(nèi)部存在微細(xì)空隙,會(huì)漏水,只能采用間接水冷的方式。本發(fā)明的要點(diǎn)是在靶塊的下面復(fù)合一個(gè)金屬軋制的靶座。制造時(shí)采用真空燒結(jié)爐,將底座與靶材通過(guò)紫銅焊料燒結(jié)在一起。本發(fā)明的有益效果是:在合金靶材底面設(shè)置了不透水的靶材底座,可直接對(duì)鍍膜靶的底座進(jìn)行水冷,提高了冷卻效果和成膜質(zhì)量。節(jié)省約1/3的貴重多元粉體金屬材料,降低靶材的制造成本。