本發(fā)明提供了一種鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法，包括以下步驟：在選定的鉭或鈮粉末中加入粘結(jié)劑混勻進(jìn)行粘結(jié)并裝入冷壓設(shè)備冷壓成管狀錠材；采用真空燒結(jié)爐對成型的管狀錠材進(jìn)行燒結(jié)；采用管材軋制機對燒結(jié)后的管狀錠材進(jìn)行多道次軋制，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到預(yù)設(shè)尺寸；對軋制后的管狀錠材進(jìn)行真空熱處理并結(jié)晶退火；對結(jié)晶退火后的管狀錠材的內(nèi)外表面進(jìn)行機械加工，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到最終成品尺寸。采用本發(fā)明技術(shù)方案的鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法生產(chǎn)的鉭、鈮管狀靶材內(nèi)部組織一致性較好，保證濺射膜的質(zhì)量；同時靶材成才率高，有效節(jié)約生產(chǎn)成本。