本發(fā)明提供一種硫化鎘靶材制備方法，將硫化鎘粉體裝入模具中預(yù)壓成型，得到預(yù)壓后的硫化鎘粉體；將所述預(yù)壓后的硫化鎘粉體裝入熱壓燒結(jié)爐內(nèi)，熱壓真空燒結(jié)，得到硫化鎘靶材。本發(fā)明硫化鎘靶材的制備，燒結(jié)與壓制是在同一臺(tái)設(shè)備，同一個(gè)工藝中同時(shí)進(jìn)行的，中間環(huán)節(jié)和操作步驟少，對靶材和環(huán)境的污染小；使用高純硫化鎘粉體作為原料，不需要用到氯化鎘做助溶劑，靶材純度高。本發(fā)明還提供一種硫化鎘靶材制備裝置。