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嵌埋式陶瓷基板的制備方法

999   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:53
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。一種嵌埋式陶瓷基板的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:步驟一,正面金屬層以及背面金屬層預(yù)處理;所述正面金屬層包括至少兩層金屬片,至少兩層金屬片包括靠近瓷片的第一金屬片,至少兩層金屬片中除了第一金屬片的其余的金屬片開設(shè)有至少一個(gè)上下貫穿的貫穿孔;步驟二,將正面金屬層、瓷片以及背面金屬層三者進(jìn)行真空燒結(jié)。所述貫穿孔用于內(nèi)嵌芯片。本專利通過在正面金屬層上開設(shè)有貫穿孔,便于實(shí)現(xiàn)了對芯片的限位固定效果。相應(yīng)的減薄了后期封裝件的厚度。此外,可以實(shí)現(xiàn)芯片的熱量從周向向外以及向下區(qū)域的金屬層散熱,大大的提高的散熱范圍。
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“嵌埋式陶瓷基板的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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