一種氧化釔穩(wěn)定氧化鋯的真空鍍膜材料及其制備方法,該材料的原料mol%為:氧化鋯75～98,氧化釔2～25,添加適量的聚乙烯醇結合劑。其制備方法包括以下步驟:①以氧化鋯和氧化釔粉料為原料,按選定的摩爾百分比稱量原料,混合均勻后添加聚乙烯醇結合劑使粉料團聚,造粒成型;②對顆粒料進行預燒,預燒溫度為1200℃;③然后在真空燒結爐中燒結,然后自然冷卻降溫至室溫。本發(fā)明氧化釔穩(wěn)定氧化鋯真空鍍膜材料解決傳統(tǒng)氧化鋯鍍膜材料鍍膜過程中的不穩(wěn)定和折射率不均勻性問題,提高氧化鋯薄膜的損傷閾值。