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熱蒸發(fā)硅法生成碳化硅涂層的方法

1072   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:54
發(fā)明公開了熱蒸發(fā)硅法生成碳化硅涂層的方法。?本發(fā)明在聚丙肺腈碳纖維表面合成SiC涂層。將硅粉或硅塊碎片放入石墨坩鍋底部,碳纖維橫置于坩鍋?lái)敳浚瑸榱吮M可能增加碳纖維與硅蒸汽的接觸并固定碳纖維,倒置同樣大小的坩鍋于擱置了碳纖維的坩鍋上,硅碎片和碳纖維之間始終保持距離。把這個(gè)裝置放入高溫真空燒結(jié)爐中,機(jī)械泵預(yù)抽真空1~5Pa,然后充入氬氣保護(hù)氣,再次用機(jī)械泵及擴(kuò)散泵抽至10-4~10-2Pa,然后再次充入氬氣保護(hù)氣,關(guān)閉氬氣源。然后升溫到硅的熔點(diǎn)之上,保溫1~9小時(shí),關(guān)掉電源,冷卻后取出纖維,纖維表面生成了一層碳化硅涂層。本發(fā)明具有設(shè)備簡(jiǎn)單、無(wú)需氯硅烷或聚碳硅烷先驅(qū)氣體和氫氣等一系列優(yōu)點(diǎn)。
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