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用于真空結(jié)晶爐保溫組件的材料的生產(chǎn)方法

874   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:54
本發(fā)明涉及一種用于真空結(jié)晶爐中保溫組件的材料的生產(chǎn)方法。主要是為解決現(xiàn)有的由鉬或石墨氈制成的保溫組件對結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染,影響晶體質(zhì)量等問題而發(fā)明的。方法是將生產(chǎn)態(tài)粒度為2.55um,研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um,研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆?;旌希渲蠾和Mo的重量相等,混合后再加入占W顆粒和Mo顆??傊亓?.2%-0.5%的CeO,和占W顆粒和Mo顆??傊亓?.05%-0.1%的ZrH2,混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機壓制成型,最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結(jié)爐內(nèi)燒結(jié)。優(yōu)點是不會對真空結(jié)晶爐內(nèi)產(chǎn)生污染,不影響晶體質(zhì)量。
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