本發(fā)明提供一種高純度鉭釕合金靶材及其制備方法，將市售的純度為99.9％的釕粉和鉭粉分別經(jīng)真空高溫升華提純至純度大于99.995％的釕粉和鉭粉，經(jīng)球磨混合后，經(jīng)冷等靜壓壓成塊狀，真空燒結熔煉，得到高純度鉭釕合金錠，然后高純度鉭釕合金錠經(jīng)橫向熱鍛，退火處理，熱軋，冷軋，結晶退火處理，得到高純度鉭釕合金靶材。本發(fā)明的釕粉和鉭粉的提純工藝簡單，提純純度高，深度去除Ca、Cr、Co、Cu、Cd、Cl、Fe、K、Li、Mg、Na、Ni，制備的靶材成分均勻、純度高、晶粒細小，氧含量低，面積大，厚度薄。