一種高折射率導(dǎo)電薄膜材料鈦氧化物，其化學(xué)式為TiOx，其中x在1.68—1.80之間。制備方法，包括：將原料鈦氧化物和Ti按TiOx配料，其中x在1.68—1.80之間，混合均勻；采用熱壓成型或冷壓成型方式成型，制成所需的形狀；將材料放于坩堝或?qū)ｉT的工裝中，轉(zhuǎn)移至真空燒結(jié)爐內(nèi)，對(duì)整個(gè)系統(tǒng)抽真空，并升溫至1400～1800℃，最高溫時(shí)保持2～8小時(shí)后，開始冷卻，制備得鈦氧化物材料。本發(fā)明提供了一種制作簡(jiǎn)單、成本低廉的透明導(dǎo)電薄膜材料鈦氧化物。