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N型金剛石半導(dǎo)體單晶及其生產(chǎn)方法

1042   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:59:02
本發(fā)明涉及一種N型半導(dǎo)體金剛石單晶及其生產(chǎn)方法。在晶體內(nèi)含有規(guī)則排列的氮、鋰和鈹原子,其中氮-鋰原子對、氮-鈹原子對和鋰-氮-鈹原子對的總量在100-10000ppm之間,半導(dǎo)體單晶的尺寸為0.3-10mm,晶體為正六面體、正八面體或六-八面體。生產(chǎn)時將石墨粉、金屬催化劑、氮化鋰、氮化鈹按比例混合,加壓到100-300MPa冷等靜壓處理,泄壓后將混合料破碎后放入模具中壓制成圓柱形合成柱,真空燒結(jié),裝入合成塊,在高溫高壓定向磁場中處理;將合成柱破碎,經(jīng)電解、搖床分離,得到N型半導(dǎo)體金剛石單晶。本發(fā)明單晶導(dǎo)電性較好,光熱轉(zhuǎn)換效率高,適合于太陽能電池、LED光源、高性能芯片的制作,產(chǎn)品性能穩(wěn)定。
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