本發(fā)明公開了一種制備水溶性納米硅粒子的生產(chǎn)系統(tǒng)，包括：電化學(xué)腐蝕裝置、超聲裝置、紫外線照射裝置、過濾裝置、離心裝置和真空分離裝置。所述的生產(chǎn)系統(tǒng)還包括粒徑測量裝置，所述的粒徑測量裝置為透射電顯微鏡。本發(fā)明操作簡單，適用于制備水溶性較好、無毒且粒徑分布均勻的納米硅粒子，應(yīng)用前景十分廣泛，具有較好的市場價值和經(jīng)濟(jì)效益。