本發(fā)明是一種制備高純磷烷規(guī)?；B續(xù)生產(chǎn)方法和裝置的研制，屬于電子氣體制備純化技術(shù)領(lǐng)域；該方法包括步驟(1)、粗制磷烷的制備過程：先用亞磷酸加熱反應(yīng)得到粗制磷烷；和(2)、高純磷烷的純化過程：對粗制磷烷采用液氮冷阱低溫真空分離、分子篩吸附干燥和鎵?銦合金深吸附脫水、氧。本發(fā)明所述的方法能深度脫除氧、水和碳?xì)浠衔锏入娮硬牧现杏泻﹄s質(zhì)，一般可以達(dá)到0.01～0.1ppm以下；純化劑主體鎵?銦合金可以反復(fù)使用，使用壽命除化學(xué)處理稍許損失外，理論上具有很長的使用壽命。