本發(fā)明屬于材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鋁合金靶材及其制備方法。所述的鋁合金靶材，以相應(yīng)原子百分比的銅、硅和稀土元素為原料，制備鋁合金靶材，改善所述鋁合金靶材的導(dǎo)電性、抗腐蝕性能和抗氧化性能。具體地，銅的加入，使所述鋁合金靶材的導(dǎo)電性能提高，硅的加入改變所述鋁合金靶材的熱膨脹系數(shù)，消除薄膜中產(chǎn)生的壓縮殘余應(yīng)力，從而消除膜層起包現(xiàn)象，改善濺射鍍膜膜層的表面質(zhì)量。本發(fā)明的鋁合金靶材的制備方法，先以全部的銅、硅、稀土元素和部分鋁混合熔融制成母合金，所述母合金的制備過(guò)程使銅、硅和稀土元素更好地與鋁熔融混合，再以熔融混合好的鋁?硅?銅?稀土合金與剩余部分的鋁熔融鑄錠，以解決硅、銅難熔融及成分均勻等問(wèn)題，獲得成分均勻的鋁合金靶材。