本發(fā)明涉及一種硒化銦靶材的制備模具，模具包括上方開(kāi)口且中空的外模和上封蓋，外模形成一圓筒形的裝料空間，上封蓋包括與外模蓋合的蓋面和自蓋面向上凸伸的封蓋柄，封蓋柄上開(kāi)設(shè)有真空抽氣孔，模具還包括墊設(shè)于外模內(nèi)的若干石墨紙和支撐片。本發(fā)明同時(shí)提出一種硒化銦靶材的制備方法。該制備模具和制備方法采用熱等靜壓技術(shù)制備高密度、低電阻的硒化銦靶材，所制備得到的硒化銦靶材的密度達(dá)到99%以上、靶材1cm間的電阻值低于1200Ω/cm，所制備得到的硒化銦靶材適用于半導(dǎo)體鍍膜。