本發(fā)明提供了一種氧化亞硅材料及其制備方法和應(yīng)用、裝置，氧化亞硅材料包括硅、金屬的硅酸鹽以及硅/金屬合金；金屬的硅酸鹽、硅/金屬合金中的金屬為堿金屬、堿土金屬中的一種或多種；制備方法包括以下步驟：在真空條件下，氧化亞硅蒸汽和金屬蒸汽混合均勻后，再通過(guò)通管進(jìn)入沉積腔中降溫并進(jìn)行共沉積。本發(fā)明通過(guò)讓氧化亞硅蒸汽和金屬蒸汽共沉積，金屬蒸汽會(huì)與氧化亞硅中的活性硅形成一定的合金，提高材料的導(dǎo)電性，同時(shí)金屬蒸汽會(huì)與氧化亞硅中的二氧化硅反應(yīng)生成一定的硅酸鹽，穩(wěn)定材料結(jié)構(gòu)的同時(shí)也可以讓材料在首次充放電過(guò)程中的副反應(yīng)減少，解決了氧化亞硅作為硅氧材料的導(dǎo)電性差和材料首效低的問(wèn)題，同時(shí)本發(fā)明方法簡(jiǎn)單，易于操作。