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提高覆銅陶瓷基板絕緣可靠性的制備方法

1233   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:00:02
本發(fā)明公開了一種提高覆銅陶瓷基板絕緣可靠性的制備方法,包括以下步驟:步驟一:在陶瓷基板表面形成鋁金屬化層;步驟二:對(duì)鋁金屬化層進(jìn)行圖形刻蝕和陽(yáng)極氧化;步驟三:活性金屬釬焊燒結(jié),貼附銅箔,圖形刻蝕,即為覆銅陶瓷基板。本發(fā)明為了避免覆銅陶瓷基板表面出現(xiàn)局部高壓以及局部放電量不穩(wěn)定情況,通過(guò)在銅瓷結(jié)合面引入高強(qiáng)度鍵合的絕緣鋁陽(yáng)極氧化層,提高了產(chǎn)品的絕緣可靠性,絕緣陽(yáng)極氧化層的圖形特征可以依據(jù)產(chǎn)品特性進(jìn)行定制,進(jìn)一步提高產(chǎn)品局部高壓條件下的絕緣可靠性。
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