本發(fā)明公開一種穩(wěn)定氧化鋯鍍膜靶材及其制備方法，涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，包括配料和燒結(jié)工藝步驟。本發(fā)明，設(shè)計(jì)科學(xué)、合理，對于所述鍍膜靶材，制備方便、節(jié)約，作用安全、可靠，能夠有效解決氧化鋯鍍膜靶材開裂問題，能解決傳統(tǒng)氧化鋯鍍膜靶材鍍膜過程中的不穩(wěn)定和折射率不均勻性問題，提高氧化鋯薄膜的損傷閾值，確保產(chǎn)品質(zhì)量。