本發(fā)明涉及一種氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法，其制備方法包括：氧化鈮噴涂粉的制備，噴涂基體的處理，噴涂打底層，用等離子噴涂工藝在基體管上噴涂氧化鈮噴涂粉。通過本發(fā)明方法制備的氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材結(jié)構(gòu)致密、成分均勻，無裂紋，其噴涂長度和直徑不受限制，厚度可達(dá)到12mm；密度為4.6—5.2g/cm3，靶的成分為Nb2O4.3-4.9。本發(fā)明方法生產(chǎn)過程簡單便捷，成本較低。