本發(fā)明涉及碳化硅陶瓷技術領域，本發(fā)明提供了一種碳化硅陶瓷及其制備方法。該碳化硅陶瓷制備方法包括準備原料、生坯制備、反應燒結和二次燒結除硅步驟，本發(fā)明通過先進行反應燒結，提高了坯體中碳化硅的含量；然后通過將坯體埋入碳粉中進行二次燒結除硅，碳化硅中的硅蒸發(fā)，遷移到碳化硅外部碳中，從而使得碳化硅中的自由硅得以消除，最終獲得高純、一定氣孔率的碳化硅陶瓷，此種工藝相比傳統重結晶碳化硅制備工藝燒結溫度要低很多，而且所制備出的碳化硅陶瓷孔隙率低，強度高，耐高溫性能更好。