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氧化鋅基白光LED及其制備方法

953   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:02
本發(fā)明涉及發(fā)光LED技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種氧化鋅基白光LED及其制備方法。所述方法為:以高純氧氣作為生長(zhǎng)氣體,在具有藍(lán)色電致發(fā)光特性的p-GaN襯底上生長(zhǎng)n-ZnO層,形成p-GaN/n-ZnO異質(zhì)結(jié);并在制備所述異質(zhì)結(jié)的過(guò)程中,通過(guò)控制高純氧氣壓強(qiáng)及生長(zhǎng)溫度的方式,使異質(zhì)結(jié)的界面形成Ga、Zn、O互混的界面層,并使該界面層獲得黃色電致發(fā)光特性,從而使該界面層與p-GaN襯底發(fā)出的光可混合為白光;分別在p-GaN襯底及n-ZnO層上制備電極,完成氧化鋅基白光LED的制備。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明在生長(zhǎng)過(guò)程中一次性完成發(fā)光LED的制備,有效簡(jiǎn)化了發(fā)光LED制備工藝,對(duì)生長(zhǎng)材料要求不高,是制備ZnO基異質(zhì)結(jié)白光LED的可行方法,符合半導(dǎo)體照明光源技術(shù)的發(fā)展方向。
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