本發(fā)明涉及一種低溫化學(xué)氣相反應(yīng)法制備SiC涂層的方法，主要用于碳素材料的抗氧化保護。該方法采用適量Si粉、SiO2粉以及適量SiO粉為反應(yīng)原料，通過化學(xué)氣相反應(yīng)法在較低溫度下制備SiC涂層。該方法工藝簡單，制備的涂層結(jié)構(gòu)致密均勻，晶粒細小，不易產(chǎn)生裂紋，可以大大提高碳素材料的抗氧化、抗熱震性能。進一步優(yōu)化通過浸漬碳化預(yù)先在碳素材料表面制備一層由細小碳顆粒碳組成的連續(xù)涂層，然后再采用結(jié)合上述的氣相反應(yīng)法，進一步促進細小晶粒的形成，最終得到致密均勻、性能優(yōu)異的SiC涂層。本發(fā)明制備工藝簡單，便于工業(yè)化應(yīng)用。