本發(fā)明涉及制造金屬氧化物和金屬氧化物顆粒的方法。所述方法包括以非常高的金屬氧化物收率處理從含水媒介物中金屬源例如金屬醇鹽、表面活性劑和第一醇的水懸浮液形成的混合物。所述混合物用催化劑處理以在所述混合物中形成具有期望尺寸的金屬氧化物顆粒。通過用非質(zhì)子溶劑清洗所述顆粒，所述顆粒的殘留的碳含量可顯著減少。所述方法特別適于形成二氧化硅顆粒。所述金屬氧化物顆粒之后可加熱處理以形成合成熔凝金屬氧化物例如諸如合成熔凝二氧化硅。