本發(fā)明公開了一種控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法,將混合粉體通過冷等靜壓成形,并進行高溫真空脫氣處理,再以吸氧性金屬箔材隔離毛坯和石墨模具,經真空熱壓燒結得到鎢硅靶材。該方法有助于鎢硅靶材中易揮發(fā)非金屬元素的脫除,有效地控制了鎢硅靶材中的非金屬元素含量,具有可操作性強、成本低的特點。
聲明:
“控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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