本發(fā)明公開了屬于陶瓷靶材技術(shù)領(lǐng)域的一種高純超高溫陶瓷靶材的制備方法，具體 為高純硼化鋯/硼化鉿粉體及其陶瓷靶材的制備方法。該方法是以高純Zr粉，Hf粉以及 高純B粉為原料，采用自蔓延法分別制備高純ZrB2和HfB2粉體，再采用高溫高壓的熱 壓成型工藝制備高純致密的硼化鋯/硼化鉿超高溫陶瓷靶材，靶材相對(duì)密度達(dá)到95～99％。 相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本方法混料時(shí)金屬粉稍過量，彌補(bǔ)了自蔓延反應(yīng)過程中金屬的損失， 進(jìn)一步保證了產(chǎn)物組分的單一性。相對(duì)于無壓燒結(jié)，本方法所需要的燒結(jié)溫度大大降低， 并且本熱壓工藝采用兩段式溫度，均勻了坯料的溫度場(chǎng)，為后期熱壓過程中得到密度均 勻的靶材，提供了保證。