本發(fā)明公開了屬于陶瓷靶材技術(shù)領(lǐng)域的一種高密度HfO2靶材的制備方法。本發(fā)明利用堿性溶劑對(duì)HfO2粉體預(yù)處理，將預(yù)處理后粉體置于馬弗爐、熱壓爐中燒結(jié)，然后粉碎、過篩，再置于熱壓爐中進(jìn)行三段式熱壓燒結(jié)，最后隨爐冷卻，得到HfO2靶材；所得HfO2靶材外觀呈均勻灰色，相對(duì)密度達(dá)到85％～95％，具有高強(qiáng)度、不易開裂的特點(diǎn)，適用于濺射制備光學(xué)薄膜。