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提高氮化鋁覆鋁封裝襯板耐熱循環(huán)可靠性的辦法

1191   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:22
本發(fā)明提供了一種提高氮化鋁覆鋁封裝襯板耐熱循環(huán)可靠性的辦法,本發(fā)明中,在氮化鋁覆鋁陶瓷基板表面濺射鍍銅并進(jìn)行真空擴(kuò)散燒結(jié),在鋁表面層引入微量銅元素,形成均勻的銅鋁固溶體硬化層,再對其進(jìn)行表面進(jìn)行化學(xué)鍍鎳處理在表面形成均勻鍍鎳層,處理后的氮化鋁覆鋁封裝襯板在熱循環(huán)前后的粗糙度對比相差不大,通過本方法,降低了鍍層表面應(yīng)力集中和鍍層開裂情況,提高了氮化鋁覆鋁封裝襯板在極端條件下的耐熱循環(huán)可靠性。
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