本發(fā)明涉及一種真空碳熱還原制備高純球形二氧化硅的方法,采用生物質(zhì)燃燒灰、粉煤灰、二氧化硅礦為原料,木炭、石油焦或煤為碳質(zhì)還原劑,在真空爐內(nèi),進行碳熱還原反應(yīng),生成一氧化硅氣體,冷卻后發(fā)生歧化反應(yīng)生成球形納米二氧化硅和球形納米硅,經(jīng)過氧化處理,生成高純球形二氧化硅,其純度大于99.99%,成球率達到90%以上,粒度分布均勻,粒徑為50-200納米之間,以滿足電子、電器、化工產(chǎn)品的功能填料的需要。