利用吸氣劑泵提純氙氣的方法,步驟為:將氙氣容器、真空機(jī)組與氙氣瓶安裝到吸氣劑泵的閥門上;打開真空機(jī)組及冷井A、B的閥門,關(guān)閉其他閥門;抽吸真空;關(guān)閉抽氣閥門,打開其他閥門;對兩個(gè)冷井交替冷卻數(shù)次;關(guān)閉所有閥門,取下氙氣容器。優(yōu)化方案是將吸氣劑泵加熱至400℃。本發(fā)明能夠方便地對氙氣提純,有效地去除雜質(zhì),使其多次重復(fù)使用,節(jié)省大量經(jīng)費(fèi)。本方法還可提高真空裝置中的真空度,或者去除其中的活性氣體。